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      MEMS產(chǎn)業(yè)期待發(fā)展的大舞臺(tái)

      發(fā)布時(shí)間:2010-03-19 來源:電子元件技術(shù)網(wǎng)

      機(jī)遇與挑戰(zhàn):
      • MEMS與IC相結(jié)合是必然的趨勢(shì)
      • MEMS沒有所謂的標(biāo)準(zhǔn)化
      • MEMS產(chǎn)業(yè)在中國機(jī)會(huì)多多

      “MEMS是一個(gè)古老而年輕的行業(yè)。說它古老,是因?yàn)樗Q生已有多年;說它年輕,是因?yàn)檫@是一個(gè)新應(yīng)用層出不窮的領(lǐng)域。”北京大學(xué)上海微電子研究院院長(zhǎng)程玉華教授在3月16日的“MEMS的應(yīng)用與機(jī)遇”研討會(huì)上說,“MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)過多年的發(fā)展,正在從高端軍事、工業(yè)應(yīng)用轉(zhuǎn)向普羅大眾的消費(fèi)應(yīng)用。在后摩爾時(shí)代,MEMS將大放異彩。”

      2008年,TSMC宣布開始進(jìn)入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時(shí)成為半導(dǎo)體代工行業(yè)的明星。2009年Q1,SMIC也宣布開始MEMS量產(chǎn)。

      那么,MEMS與成熟的IC制造之間又是怎樣的一種關(guān)系呢?“MEMS與IC相結(jié)合是必然的趨勢(shì),即要與IC產(chǎn)業(yè)整合,使芯片從單一的工藝集成轉(zhuǎn)向應(yīng)用集成。”程玉華院長(zhǎng)表示,“MEMS的應(yīng)用應(yīng)該更加智能化,可以預(yù)見的應(yīng)用領(lǐng)域包括了生物醫(yī)療、物聯(lián)網(wǎng)、3C市場(chǎng)、汽車電子等。關(guān)鍵是要團(tuán)結(jié)一切可以團(tuán)結(jié)的力量,將產(chǎn)業(yè)做大做強(qiáng)。”

      敏芯微電子的CEO李剛認(rèn)為,MEMS制造與IC的最大不同在于其沒有所謂的標(biāo)準(zhǔn)化,往往一條生產(chǎn)線只能做一種產(chǎn)品,這是限制MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸之一。其次,MEMS產(chǎn)業(yè)還缺乏成熟的產(chǎn)業(yè)鏈支持,如設(shè)計(jì)軟件、測(cè)試封裝等。并且市場(chǎng)對(duì)于單一產(chǎn)品的需求畢竟有限。凡此種種都限制了MEMS產(chǎn)業(yè)的“井噴式發(fā)展”。但是,MEMS產(chǎn)業(yè)在中國仍是機(jī)會(huì)多多。中國有眾多的高校和科研院所在進(jìn)行MEMS研究,有著廣泛的MEMS研究課題,如RF-MEMS、Bio-MEMS、NEMS、MOEMS等等。很多的4寸和6寸IC生產(chǎn)線也亟待轉(zhuǎn)型,這些都是MEMS發(fā)展的利好元素。

      來自德國Fraunhofer Research Institution for Electronic Nano Systems的Thomas Gessner教授介紹了德國在MEMS智能系統(tǒng)方面的發(fā)展現(xiàn)狀。他認(rèn)為智能系統(tǒng)是未來的發(fā)展趨勢(shì),更多的功能將會(huì)集成在單一的系統(tǒng)中。當(dāng)然,復(fù)雜的系統(tǒng)也是MEMS封裝的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。

      MEMS是繼3D CIS和Flash存儲(chǔ)器后的又一個(gè)關(guān)鍵的3D IC產(chǎn)品,市場(chǎng)很大,但仍有待成長(zhǎng)。MEMS的市場(chǎng)化程度仍然不足,備選技術(shù)少,技術(shù)受限,因此更需要嶄新的概念和殺手級(jí)的應(yīng)用出現(xiàn)。阿凡達(dá)的大熱讓人們?cè)僖淮我娮R(shí)到了MEMS的威力,其中的表演捕捉技術(shù)和計(jì)算機(jī)圖形CG等實(shí)現(xiàn)了虛擬與現(xiàn)實(shí)的完美鏈接,更不用說已經(jīng)大放異彩的Wii游戲機(jī)和iPhone等。可以說,MEMS正在改變我們的生活,它正期待著更大、更精彩的舞臺(tái)。

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