2012高端精密電子束鍍亮相高工LED展

據大和熱磁相關負責人介紹，TFC3500采用世界廣泛使用的電子槍(Temescal)，高壓電源(Ferrotec 德國)，低溫泵(美國CTI) 以及進口干泵、真空規、晶震膜厚控制器、電子束掃描器、閘板閥、磁流體密封軸承、電子線路元器件等。

其蛋殼型不銹剛主腔體在保證大裝片量的同時，有效地縮短了排氣時間。可滑動電器柜和可升降電子槍底盤減少了占地空間方便了使用和維護，整體結構緊湊，節能，占地面積小。

同時，在信息化時代，TFC3500可以通過電腦軟件和操作系統對復雜的鍍膜工藝過程進行安全可靠的全自動控制和數據記錄。同時配備有LED行業需要的基片高溫紅外加熱器，反應氣體流量控制器，可控低溫泵閘板閥等等。

談到未來的發展，楊東紅表示，Ferrotec(中國)未來將致力于降低生產成本，增加供應量，繼續以技術創新為動力，不斷研制開發具有國際水準，又適合于中國市場需求的高科技鍍膜機，以便更好的滿足和適應中國未來LED行業的發展需求。

經過20年快速發展，Ferrotec(中國)員工從9人到5000人，廠房面積從500平米到23.6萬平米，投資總額從1.5億日元到200億日元，銷 售額從原始38萬元人民幣到45億元人民幣。已發展成以半導體、太陽能及功能材料為主導的三大主業為中心，集研發、制造和服務為一體的多元化企業集團和有 多元化技術的跨國集團。并在半導體、太陽能光伏、精密機械高端領域樹立了良好的業界形象。

在即將開幕的2012高工LED展上，大和熱磁將首次推出其最新研制的高端精密電子束蒸發鍍膜機TFC3500。“這是為LED制造業和其他工業領域專門研發的，憑借著美國Ferrotec Temescal 六十年悠久的歷史和經驗，以及在電子槍和鍍膜機制造方面的多項專利技術，同時吸收了美國、德國、日本等國內外的最新工藝”楊東紅說。”杭州大和熱磁電子有限公司(以下簡稱“大和熱磁”)真空技術事業部的楊東紅在接受《高工LED》記者采訪時既興奮又無奈地表示，由于全球經濟持續低迷，已經影響到半導體和通信行業，雖然上半年大和熱磁的整體銷售額保持了一定增長，但增長速度與往年相比稍有放緩。

楊東紅指出，與傳統的鍍膜機結構設計不同，TFC3500的真空室和蒸發距離可以按用戶需要加長，從而滿足在6英寸或更大尺寸基片上的鍍膜要求，適合50mm~150mm晶圓ITO膜制成工藝。

今年上半年，全球都面臨著嚴峻的經濟疲軟考驗，尤其是新興產業。但楊東紅認為：“LED行業作為國家重點鼓勵發展和支持的新興產業，在下半年依然會有更多有活力的企業，投入新的生產線推動擴產項目，預計公司今年整體銷售情況不會如想象的那么悲觀。”