中心議題：

• 介紹電容式加速度計的結構和優點
• 分析該電容式加速度計的未來發展趨勢

解決方案：

• 電容式加速度計的電容值一般與電極材料無關
• 用堆棧或并排方式封裝芯片

電容式加速度計是將被測非電量的變化轉換為電容量變化的一種傳感器。它具有結構簡單、高分辨力、可非接觸測量，并能在高溫、輻射和強烈振動等惡劣條件下工作等獨特優點。隨著MEMS和半導體制程的進步，大幅改善其原先的一些使用限制，也讓電容式作法成為今日市場上極受歡迎的一種加速度計設計途徑。

圖2　電容式加速度計的MEMS結構示意圖原文位置
資料來源：ST

電容式加速度計的結構中會有可移動的質塊與相對的固定端，分為作為電容的兩極。當外界加速度使可移動極與固定極發生相對位移時，兩極間的電容量也會產生變化，通過特殊電路可將此變化量轉換成相對應的輸出信號。

電容式加速計的好處甚多，比起壓阻式或熱對流式容易因外界溫度變化而產生零位漂移，電容式的電容值一般與電極材料無關，因此可選擇溫度系數低的材料;加上本身發熱極小，溫度對穩定性的影響甚微。此外，電容式除了可以實現微型化需求外，也能在高溫、高壓、強輻射及強磁場等惡劣的環境中工作，也能耐受極大沖擊，適用范圍極廣。

另一個優點是它的動態響應時間很短，能在幾MHz的頻率下工作，因此特別適用于動態測量。又由于其介質損耗小，可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高，可以用于測量高速變化的參數。除了上述優點外，電容式還可測極低的加速度和位移(0.01mm以下)，靈敏度及分辨力可以做到很高。

圖3　加速度計傳感器的技術原理原文位置
資料來源：ST

在電容式的結構中，當其中的質塊出現加速度運動時，就會產生電容量的差異變化(DC)，此變化會傳送給另一顆接口芯片(Interface chip)，由它來輸出可量測的電壓值。因此，一個3軸加速度計芯片中必須包含兩大單元，一是單純的機械性MEMS傳感器，它包含測量XY軸的區域及測量Z軸的區域，內部有成群移動的電子;另一則是標準的ASIC接口芯片，它會將電容變化轉換為電壓訊號輸出。

傳感器與ASIC接口芯片這兩大單元雖然都可采用CMOS制程來生產，但由于實現技術上的差異，兩者目前大多仍會采用不同的生產流程，再將兩顆芯片封裝整合在一起，成為系統級封裝(SiP)芯片。這兩顆芯片可以用堆棧(Stacked)或并排(Side by side)方式來進行封裝。采用先進LGA封裝的ST加速度計芯片只有3×5×1.0mm，此尺寸已相當適合小型化手持設備的使用。

不同的應用需選用不同規格的加速度計，以手持設備的姿態識別與單擊、雙擊動作偵測應用來說，只需選用低頻(0~20Hz)的加速度計即可;若需用于硬盤自由墜落的感測保護，必須選用中頻(~50Hz)以上的產品;對于汽車沖撞感測或洗衣機振動感測的應用來說，就需選用高頻(~100Hz)的加速度計。

未來的MEMS明星
今日MEMS的當紅產品，當然是加速度計，不過，還有許多的微機電芯片具有極佳的市場爆發力，包括陀螺儀、MEMS麥克風、IMOD顯示器、嵌入式超小型投影機、MEMS振蕩器等。陀螺儀是繼加速度計后另一個備受注目的運動傳感器，它能補足加速度計在轉向角度上的不足，因此兩者的互補能提供更精準的運動行為判斷。除此之外，陀螺儀也能用于照相防震、3D搖控、空中鼠標、游戲游戲桿等應用中。

新的MEMS麥克風(也稱硅晶麥克風)具有小尺寸、抗噪訊及易開發等優勢，已成為取代傳統駐極體電容式麥克風(Electret Condenser Microphone, ECM)的主流選擇;Qualcomm開發的IMOD(Interferometric Modulator) 技術是一項基于MEMS的干涉測量調節顯示技術，強調能夠像光的薄膜干涉那樣，獲得如蝴蝶翅膀和孔雀羽毛那樣斑斕的色彩，而且能比其它顯示技術提供更低的耗電量。

此外，超小型投影機小到能嵌入手機當中，進而讓手機能夠投射出更大的屏幕，而不會受限于今日僅數寸的顯示器，讓手機用戶能更進一步地享受視聽效果。MEMS振蕩器的應用則將沖擊整個電子產業，因為它已成為長久以來用來提供頻率的石英晶體振蕩器的可行取代方案。

圖4　通過手機、PDA投影的顯示應用模式
資料來源：Microvision

結語
MEMS芯片的運用，就如同人通過五官接受外界的信息一般，通過信息處理(如人的大腦)，再做出相應的動作。這種能力讓微小的芯片也能具備感知與反應能力，大幅提升了機電系統的智能性。我們今日看到的微機電芯片功能或許只是其能力的一個雛型，未來仍有很大的想象空間，等待我們去實現。