產(chǎn)品特點：

• 非晶氧化物半導(dǎo)體的TFT試制出了全高清液晶面板

臺灣友達光電（AU OptronicsAUO）用基于透明非晶氧化物半導(dǎo)體（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）試制出了全高清（1920×1080像素）37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板開發(fā)事例此前最大尺寸止步于20英寸以下，此次一舉實現(xiàn)了大尺寸化。AUO預(yù)定在2010年5月于美國舉辦的“Society for Information Display 2010（SID 2010）”上展出試制品。

試制面板使用的TAOS-TFT，是將源電極和漏電極設(shè)在溝道側(cè)面的同一平面（coplanar）型，溝道材料為非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試制結(jié)果顯示，以柵極寬度和長度分別為22μm和5μm的元件，實現(xiàn)了載流子遷移率10～13cm2/Vs，開/關(guān)比108以上的良好特性。即便是經(jīng)常碰到的TAOS-TFT元件特性不穩(wěn)定問題，也通過在IGZO成膜后實施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控制。