【導讀】射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān)，通過觸點打開或關(guān)閉在開關(guān)中傳輸信號。在RF MEMS器件中，開關(guān)的機械組件大小只在微米級別。與電燈開關(guān)不同的是，RF MEMS開關(guān)傳輸?shù)氖巧漕l信號。
什么是射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)？
射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān)，通過觸點打開或關(guān)閉在開關(guān)中傳輸信號。在RF MEMS器件中，開關(guān)的機械組件大小只在微米級別。與電燈開關(guān)不同的是，RF MEMS開關(guān)傳輸?shù)氖巧漕l信號。
射頻開關(guān)技術(shù)
射頻開關(guān)可以使用多種不同技術(shù)實現(xiàn)。除了RF MEMS開關(guān)以外，還有兩種主要類型的射頻開關(guān)：機電式射頻開關(guān)和固態(tài)射頻開關(guān)。固態(tài)開關(guān)使用半導體技術(shù)進行操作，例如硅或PIN二極管、場效應晶體管 (FETs) 和混合技術(shù)（即PIN二極管和場效應晶體管的結(jié)合），并使用硅基基板構(gòu)建。RF MEMS開關(guān)與基于射頻-SOI（絕緣襯底上的硅）的開關(guān)處于競爭關(guān)系，后者一直都在不斷改進，是當前市場上的主要解決方案。
RF MEMS開關(guān)種類繁多，它們可以用不同的機制來驅(qū)動。由于功耗低、尺寸小的特性，靜電驅(qū)動常用于射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)設(shè)計。MEMS開關(guān)也可使用慣性力、電磁力、電熱力或壓電力來控制打開或關(guān)閉。
圖1和圖2是典型的“懸臂梁” RF MEMS開關(guān)。在這種配置中，固定梁懸掛在基板上，當梁被壓下時，梁上的電極接觸基板上的電極，將開關(guān)置于“開啟”狀態(tài)并接通了電路。
圖1：“懸臂梁”型RF MEMS開關(guān)
圖2：使用CoventorMP?中建立的“懸臂梁”
RF開關(guān)模型，展示開和關(guān)的驅(qū)動狀態(tài)
電容式RF MEMS開關(guān)
最新一代的RF MEMS開關(guān)大多是電容式器件。電容式開關(guān)使用電容耦合工作，非常適合高頻率的射頻應用。在操作過程中，力被施加到像橋一樣懸在基板上的梁。當梁被該力（例如靜電力）拉下時，會接觸到基板上的電介質(zhì)，使信號終止。橋型電容開關(guān)的橫截面如圖 3 所示，其中使用CoventorMP? 3D所建的電容式RF MEMS開關(guān)模型處于未變形狀態(tài)，如圖 4 所示。
圖3：橋型電容式RF MEMS開關(guān)
圖4：使用CoventorMP? 3D建立的橋型
RF開關(guān)的模型處于未變形狀態(tài)
RF MEMS的商業(yè)化
RF MEMS開關(guān)的開發(fā)早在20多年前就開始了，但當時在市場上取得的成功有限。早期，商業(yè)化的主要障礙在于可靠性。RF開關(guān)需要經(jīng)受數(shù)十億次開關(guān)循環(huán)的考驗。要找到開關(guān)材料極具挑戰(zhàn)——既要求足夠堅固，能經(jīng)歷大量開關(guān)的循環(huán)，同時又得非常柔軟才能在閉合時形成良好的接觸。RF MEMS開關(guān)（特別是它們的電極）需要一種基于機械材料合成層的制造技術(shù)。開關(guān)的可靠性受到這些合成材料中電氣和機械應力的影響，同時溫度依賴性以及對沖擊和振動敏感性也會影響其可靠性。
下一代電信系統(tǒng)和智能手機對RF MEMS開關(guān)和其他RF MEMS器件的需求在不斷增長。根據(jù)半導體市場調(diào)研機構(gòu)Yole Développement的報告，RF MEMS器件市場將大幅增長。Yole指出，由于5G設(shè)備中需要有源天線，5G通信的發(fā)展將增加對基于MEMS的器件（如RF MEMS BAW濾波器）的需求。此外，RF MEMS振蕩器會被用于部署與5G相關(guān)的新基站和邊緣計算。
結(jié)論
由于其機械特性，RF MEMS開關(guān)與現(xiàn)有技術(shù)相比具有多項優(yōu)勢，包括閉合時阻力很低、打開時阻力很高。此外，它具有體積小、功率要求低、開關(guān)速度快、信號損耗低、高斷態(tài)隔離和電路規(guī)模集成能力等優(yōu)點。隨著新的制造工藝和材料準備就緒，頻率在幾十GHz范圍內(nèi)的射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)被廣泛用于包括5G移動蜂窩通信在內(nèi)的電信系統(tǒng)，帶來RF MEMS器件的巨大增長。
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